Gitterpitch | 20um |
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Termisk ekspansjon | 10,6 x 10-6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Oppløsning | 0,5–1–5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Repeterbarhet | ±1 trinn | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Maks hastighet m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Utgangstype | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Maks. akselerasjon | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Beskyttelse | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Strømforsyning | 60mA maks. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Faseforskyvning | 90±5° elektrisk | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Driftstemperatur | 0°–50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Lagringstemperatur | -20°–80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Fuktighet | 100 % ikke kondensert |