
| Gitterpitch | 20um |
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| Termisk ekspansjon | 10,6 x 10-6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Oppløsning | 0,5–1–5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Repeterbarhet | ±1 trinn | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maks hastighet m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Utgangstype | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maks. akselerasjon | 20m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Beskyttelse | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Strømforsyning | 60mA maks. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Faseforskyvning | 90°±5° elektrisk | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Driftstemperatur | 0°–50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Lagringstemperatur | -20°–80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Fuktighet | 100 % ikke kondensert |